南大光电：ArF光刻胶有少量供货 尚未规模量产
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南大光电：ArF光刻胶有少量供货 尚未规模量产
2023-03-14 21:23:00
南大光电(300346)3月14日在互动平台表示，ArF光刻胶有少量供货，尚未规模量产。光刻胶扩产计划需根据产品订单情况确定。ArF光刻胶是先进集成电路芯片制造的关键材料，在193nm光源下有较高的透明性和抗刻蚀性等，可以广泛应用于各种高端IC芯片的生产制造。
（文章来源：证券时报·e公司）
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